物理法有机械粉碎法，电火花法，爆炸烧结法，冷冻干燥法，真空蒸发法，激光法，高频电弧感应法，离子溅射法等。化学法有水热合成法，沉淀法，气相化学反应法，喷雾热解法，溶胶-凝胶法，表面修饰法等。
常用的制备纳米粒子的方法有水热合成法，溶胶-凝胶法和表面修饰法。
水热合成法是与水化合，通过渗析反应及物理过程控制，得到改进的无机物，再经过过滤，洗涤和干燥，得到高纯，超细的纳米颗粒。
溶胶-凝胶法是先制成金属无机盐或金属醇盐的前驱物，再见前驱物制成均匀的溶液，让溶质和溶剂发生水解反应或醇解反应，反应生成物聚集成颗粒粒子，经溶胶-凝胶处理而得到超细颗粒。
表面修饰法是在无机纳米微粒核的表面键合一层有机化合物的方法。
